EUV光刻机非常非常贵（very, very expensive）。 不过细究起来，台积电不买这种光刻机的说法也值得推敲，该公司每年资本开支500亿美元，今年可能达到560亿美元，即便High NA EUV光刻机贵了2亿美元，一条生产线也不会高多少。
达到600亿美元，现在台积电不买账，这个目标有点难。 High NA EUV光刻机的主要客户得靠Intel了，ASML预计明年能销售10台High NA EUV光刻机，其中2台是SK海力士购买的，剩下的主要是Intel，他们会把这种设备用于18A之后的14A工艺。 Intel之前在EUV光刻机进度上吃了
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